Компактный датчик Пирани от Edwards
Диапазон давления: атм — 10-4 мбар
Версия с улучшенной защитой измерительного модуля от коррозии
Компактный датчик Пирани от Edwards
Диапазон давления: атм — 10-3 мбар
Конвекционный Датчик от Edwards
Диапазон давления: 1333 — 10-4 мбар
Диапазон давления: 1 атм — 10-9 мбар
Совмещенный датчик Пирани и инверсно-магнетронный датчик
Диапазон масс: 1-300 аем
Чувствительность: 400 / 2.5x10-4 А/мбар
Минимальное измеримое парциальное давление: 1x10-15 / 1x10-11 мбар
Максимальное рабочее давление: 1x10-4 мбар
Диапазон масс: 1-100 аем
Чувствительность: 400 / 1x10-5 А/мбар
Минимальное измеримое парциальное давление: 1x10-14 / 1x10-10 мбар
Максимальное рабочее давление: 1x10-4 мбар
Диапазон масс: 1-100 аем
Чувствительность: 400 / 1x10-5 А/мбар
Минимальное измеримое парциальное давление: 1x10-14 / 1x10-10 мбар
Максимальное рабочее давление: 1x10-4 мбар
Диапазон масс: 1-200 аем
Чувствительность: 400 / 1x10-5 А/мбар
Минимальное измеримое парциальное давление: 1х10-14 / 1x10-10 мбар
Максимальное рабочее давление: 1x10-4 мбар
Диапазон масс: 1-200 аем
Чувствительность: 400 / 1x10-5 А/мбар
Минимальное измеримое парциальное давление: 1х10-14 / 1x10-10 мбар
Максимальное рабочее давление: 1x10-4 мбар
Диапазон масс: 1-200 аем
Чувствительность: 400 / 2.5x10-4 А/мбар
Минимальное измеримое парциальное давление: 1x10-15 / 1x10-11 мбар
Максимальное рабочее давление: 1x10-4 мбар
Безмасляный вакуум.
Производительность до 12.7 м3/ч.
Вакуум с газобалластом до 4 х 10-2 мбар.
Вакуум без газобалласта до 7 х 10-3 мбар.
Безмасляный вакуум.
Производительность до 28.0 м3/ч.
Вакуум с газобалластом до 6 х 10-2 мбар.
Вакуум без газобалласта до 3 х 10-2 мбар.
Безмасляный вакуум.
Производительность до 6,8 м3/ч.
Вакуум с газобалластом до 5 х 10-2 мбар.
Вакуум без газобалласта до 2 х 10-2 мбар.
Безмасляный вакуум.
Производительность до 43.0 м3/ч.
Вакуум до 1 х 10-2 мбар.
Безмасляный вакуум.
Производительность до 43.0 м3/ч.
Вакуум до 1 х 10-2 мбар.
Безмасляный вакуум.
Скорость откачки до 240 л/с.
Вакуум до 5×10-10 мбар.
Гибридный подвес
Безмасляный вакуум.
Скорость откачки до 300 л/с.
Вакуум до 5×10-10 мбар.
Гибридный подвес
Безмасляный вакуум.
Скорость откачки до 400 л/с.
Вакуум до 5×10-10 мбар.
Гибридный подвес
Безмасляный вакуум.
Скорость откачки до 730 л/с.
Вакуум до 3×10-10 мбар.
Гибридный подвес
Безмасляный вакуум.
Скорость откачки до 86 л/с.
Вакуум до 5×10-10 мбар.
Гибридный подвес
Безмасляный вакуум.
Скорость откачки до 925 л/с.
Вакуум до 3×10-10 мбар.
Гибридный подвес
Безмасляный вакуум.
Производительность до 300 л/с.
Вакуум до 1×10-10 мбар.
Безмасляный вакуум.
Производительность до 480 л/с.
Вакуум до 1×10-10 мбар.
Безмасляный вакуум.
Производительность до 2200 л/с.
Вакуум до 1×10-8 торр.
Хим. стойкое исполнение
Безмасляный вакуум.
Производительность до 3200 л/с.
Вакуум до 10-9 торр.
Хим. стойкое исполнение
Безмасляный вакуум.
Производительность до 4300 л/с.
Вакуум до 10-9 торр.
Хим. стойкое исполнение
Безмасляный вакуум.
Производительность до 160 м3/ч.
Вакуум до 2×10-2 мбар.
Хим. стойкая версия
Производительность до 17 м³/ч. Вакуум до 3,0 x 10-3 мбар.
Производительность до 17 м³/ч. Вакуум до 1,0 x 10-3 мбар.
Производ-ть до 27,5 м³/ч. Вакуум до 1,0 x 10-3 мбар.