Турбомолекулярный насос STP-301

Все товары Edwards

Краткое описание

Безмасляный вакуум.
Производительность до 300 л/с.
Вакуум до 1×10^-10 мбар.

Подробнее

Области применения

Наука, Приборостроение, Промышленность

Характеристики

Параметр	Значение
Входной фланец	ISO100/CF100
Форвакуумный фланец	KF25
Скорость откачки, N₂, л/с	300 (260 для версии L)
Скорость откачки, H₂, л/с	300 (290 для версии L)
Коэффициент сжатия, N₂	>10 ⁸
Коэффициент сжатия, H₂	2х10 ⁴
Предельное давление (CF), мбар	<1х10 ^-10
Макс. давление на впуске, мбар	6,7х10 ^-4
Макс. давление на выпуске, мбар	0,13
Макс. энергопотребление, Вт	350
Вибрация, мкм	<0,01 (<0,001 для версии L)
Номинальная частота вращения, об/мин	48 000
Масса насоса, кг	11/13 (обычн./версия L)
Время разгона, с	180
Допуск по магнитному полю в радиальном/осевом направлении, мТл	15/3
Положение при установке	Любое
Способы охлаждения	Естественная конвекция/принуд. воздушное/водяное
Макс. температура прогрева фланца (CF), ̊C	120
Технология подшипников	3 оси на магнитном подвесе
Контроллер	Внешний
Блок питания	Внешний
Интерфейсы	RS232, I/O – стандартно Profibus - дополнительно

Описание

Высоковакуумный турбомолекулярный насос Erwards STP-301 – лучший выбор для областей применений, где требуется высокая скорость откачки, отсутствие углеводородов, минимальное техническое обслуживание и низкий уровень вибрации.

Турбомолекулярные насосы Edwards серии STP Maglev имеют прочную репутацию качества и надежности, им отдают предпочтение в самых требовательных областях применения вакуумной техники, таких как полупроводниковая промышленность.

Подвес ротора на системе многоосевых магнитных подшипников исключает необходимость подшипников с внутренней смазкой, решая проблему обратного потока паров масла в систему. Отсутствие механического контакта снижает уровень вибрации насоса, а специальная версия STPL-301 уменьшает её еще на порядок, до крайне впечатляющих значений.

Производительность до 300 л/с.
Магнитный подвес
Версия L для снижения вибрации.

Особенности STP-301:

магнитный подвес исключает трение подвижных частей и определяет чрезвычайно низкий уровень вибрации, на который не влияет выработка деталей,
магнитный подвес исключает загрязнение откачиваемого объекта парами углеводорода,
высокая надежность насоса, в лабораторных условиях обычно не требуется сервисное обслуживание.