Безмасляный вакуум.
Скорость откачки до 240 л/с.
Вакуум до 5×10-10 мбар.
Гибридный подвес
Безмасляный вакуум.
Скорость откачки до 240 л/с.
Вакуум до 5×10-10 мбар.
Гибридный подвес
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Входной фланец | ISO100/CF100 |
| Форвакуумный фланец | KF25 |
| Фланец бустерного порта (версии T) | KF25 |
| Скорость откачки, N2, л/с | 240 |
| Скорость откачки, Ar, л/с | 230 |
| Скорость откачки, He, л/с | 230 |
| Скорость откачки, H2, л/с | 165 |
| Коэффициент сжатия, N2 | >1011 |
| Коэффициент сжатия, Ar | >1011 |
| Коэффициент сжатия, He | 3х105/106 (D/T) |
| Коэффициент сжатия, H2 | 104/105 (D/T) |
| Предельное давление (CF), мбар | <5х10-10 |
| Макс. допустимое давление на форвакуумном фланце, мбар | 9,5/20 (D/T) |
| Скорость откачки между ступенями, N2, л/с | 13 |
| Скорость откачки между ступенями, He, л/с | 13 |
| Скорость откачки между ступенями, H2, л/с | 11 |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | масляный пластинчато-роторный – RV12, сухой спиральный – nXDS10i |
| Пиковая скорость откачки на бустерном порте (N2) | RV12 - 26 м3/ч nXDS10i – 24 м3/ч |
| Макс. энергопотребление, Вт | 160 (диапазон 50-200) |
| Рабочее напряжение, В пост. тока | 24-48 |
| Номинальная частота вращения, об/мин | 60 000 |
| Масса насоса, кг | 6/9 (ISO/CF) |
| Допуск по магнитному полю, мТл | 5 |
| Время разгона, с | 115 |
| Положение при установке | вертикальность фланца относительно горизонта +/- 2 ̊ |
| Охлаждение | Естественная конвекция/принуд. воздушное/водяное |
| Макс. температура прогрева фланца (CF), °С | 120 для водяного охлаждения 115 для принуд. воздушного охлаждения |
| Подшипники | Верхний подшипник на постоянных магнитах, нижний подшипник керамический маслосмазываемый |
| Возможность обслуживания подшипников пользователем | да |
| Контроллер | Встроенный/внешнее управление контроллерами TIC и TAG |
| Интерфейсы | RS232/485, I/O (дополнительно - внешний интерфейс Profibus) |
Высоковакуумный турбомолекулярный насос Erwards nEXT240 – это новейшее решение Edwards, представляющее из себя насос с гибридными подшипниками, комбинированной молекулярной ступенью и встроенным контроллером.
Гибридные подшипники подразумевают следующее:
Встроенный контроллер насоса позволяет осуществлять его прямое управление через интерфейс ввода-вывода, либо через интерфейс RS232/485. Это упрощает интеграцию насоса с контроллером ПЛК, позволяет подключаться напрямую к контроллерам Edwards моделей TIC и TAG.
Пользователь может выбрать оптимальную модификацию насоса под конкретную задачу.
Обратите внимание на специальные литеры в названии насоса:
Насос nEXT240 – это новый взгляд на современный турбомолекулярный насос.
Ротор насоса был переработан так, чтобы улучшить скорости откачки и сжатие газа. При этом сохранен высокий уровень надежности использования и снижены масса-габариты.
Помимо этих преимуществ, насос обладает всеми плюсами серии nEXT – широкий набор аксессуаров, удобное обслуживание на месте и интеллектуальное управление, достойное лидера в своем классе.
Насосы (версия D):
Насосы (версия T):