Безмасляный вакуум.
Производительность до 300 л/с.
Вакуум до 1×10-10 мбар.
Турбомолекулярный насос STP-301
Области применения
Характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Входной фланец | ISO100/CF100 |
| Форвакуумный фланец | KF25 |
| Скорость откачки, N2, л/с | 300 (260 для версии L) |
| Скорость откачки, H2, л/с | 300 (290 для версии L) |
| Коэффициент сжатия, N2 | >10 8 |
| Коэффициент сжатия, H2 | 2х10 4 |
| Предельное давление (CF), мбар | <1х10 -10 |
| Макс. давление на впуске, мбар | 6,7х10 -4 |
| Макс. давление на выпуске, мбар | 0,13 |
| Макс. энергопотребление, Вт | 350 |
| Вибрация, мкм | <0,01 (<0,001 для версии L) |
| Номинальная частота вращения, об/мин | 48 000 |
| Масса насоса, кг | 11/13 (обычн./версия L) |
| Время разгона, с | 180 |
| Допуск по магнитному полю в радиальном/осевом направлении, мТл | 15/3 |
| Положение при установке | Любое |
| Способы охлаждения | Естественная конвекция/принуд. воздушное/водяное |
| Макс. температура прогрева фланца (CF), ̊C | 120 |
| Технология подшипников | 3 оси на магнитном подвесе |
| Контроллер | Внешний |
| Блок питания | Внешний |
| Интерфейсы | RS232, I/O – стандартно Profibus - дополнительно |
Описание
Высоковакуумный турбомолекулярный насос Erwards STP-301 – лучший выбор для областей применений, где требуется высокая скорость откачки, отсутствие углеводородов, минимальное техническое обслуживание и низкий уровень вибрации.
Турбомолекулярные насосы Edwards серии STP Maglev имеют прочную репутацию качества и надежности, им отдают предпочтение в самых требовательных областях применения вакуумной техники, таких как полупроводниковая промышленность.
Подвес ротора на системе многоосевых магнитных подшипников исключает необходимость подшипников с внутренней смазкой, решая проблему обратного потока паров масла в систему. Отсутствие механического контакта снижает уровень вибрации насоса, а специальная версия STPL-301 уменьшает её еще на порядок, до крайне впечатляющих значений.
- Производительность до 300 л/с.
- Магнитный подвес
- Версия L для снижения вибрации.
Особенности STP-301:
- магнитный подвес исключает трение подвижных частей и определяет чрезвычайно низкий уровень вибрации, на который не влияет выработка деталей,
- магнитный подвес исключает загрязнение откачиваемого объекта парами углеводорода,
- высокая надежность насоса, в лабораторных условиях обычно не требуется сервисное обслуживание.
Состав (комплектация)
Насос (стандартная версия):
- STP-301 с фланцем ISO100, артикул YT21B0350
- STP-301с фланцем CF100, артикул YT21B0010
Насос (L-версия):
- STPL-301 с фланцем ISO100, артикул YT47B0030
- STPL-301с фланцем CF100, артикул YT470Z000
Аксессуары
