Безмасляный вакуум.
Скорость откачки до 730 л/с.
Вакуум до 3×10-10 мбар.
Гибридный подвес
Турбомолекулярный насос nEXT730
Краткое описание
Области применения
Характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Входной фланец | ISO160/CF160 |
| Форвакуумный фланец | KF25 |
| Скорость откачки, N2 , л/с | 730 |
| Скорость откачки, Ar, л/с | 665 |
| Скорость откачки, He, л/с | 820 |
| Скорость откачки, H2 , л/с | 715 |
| Коэффициент сжатия, N2 | >10 11 |
| Коэффициент сжатия, Ar | >10 11 |
| Коэффициент сжатия, He | 1,2х10 8 |
| Коэффициент сжатия, H2 | 4х10 6 |
| Предельное давление с 2-х ступенчатым масляным РПВН, мбар | 3х10 -8 / <3х10 -10 (ISO/CF) |
| Макс. допустимое давление на форвакуумном фланце, мбар | 15 |
| Пропускная способность при полной скорости вращения, N2 , мбар*л/с | 14 |
| Пропускная способность при полной скорости вращения, Ar, мбар*л/с | 3,5 |
| Пропускная способность при полной скорости вращения, He, мбар*л/с | 21 |
| Пропускная способность при полной скорости вращения, H2 , мбар*л/с | >15 |
| Макс. энергопотребление, Вт | 500 |
| Энергопотребление на предельном давлении, Вт | 40 |
| Степень защиты | IP54 |
| Номинальная частота вращения, об/мин | 49 200 |
| Масса насоса, кг | 14,6/19,6 (ISO/CF) |
| Время разгона, мин | 2,5 |
| Положение при установке | любое |
| Способы охлаждения | Естественная конвекция – стандартно Принуд. воздушное/водяное - опционально |
| Водяное охлаждение | расход охл. воды 60 л/ч допустимое изб. давление охл. воды 6 бар допустимая температура охл. воды +15..+35 ̊C |
| Соединение для подключения охл. воды | штуцер 6х1 / G1/8 |
| Расход продувочного газа, мбар*л/с | 0,4 |
| Соединение продувочного газа | G 1/8 |
| Соединение порта вентиляции | G 1/8 |
| Уровень шума: - при естеств. конвекции - при принуд. воздушном охл. | <50 дБ(А) <52 дБ(А) |
| Макс. температура прогрева фланца (CF), ̊C | 100 для водяного охлаждения |
| Подшипники | Верхний подшипник на постоянных магнитах, нижний подшипник керамический маслосмазываемый |
| Возможность обслуживания подшипников пользователем | да |
| Контроллер | Встроенный/внешнее управление контроллерами TIC и TAG |
| Интерфейсы | RS232/485, I/O |
Описание
Высоковакуумный турбомолекулярный насос Erwards nEXT730 – это самое новое пополнение семейства nEXT, представляющее из себя насос с гибридными подшипниками, комбинированной молекулярной ступенью и встроенным контроллером.
Гибридные подшипники подразумевают следующее:
- Верхний подшипник – магнитно-левитирующий, на постоянных магнитах. Поскольку верхний подшипник располагается в непосредственной близости от входного фланца, то подшипник с жидкой смазкой в этой области загрязнял бы откачиваемый объем испарениями смазки. Верхний магнитный подшипник позволяет сохранить чистоту откачиваемой системы, а также снижает вибрацию.
- Нижний подшипник – маслосмазываемый, керамический. Поскольку в месте установки этого подшипника не происходит контакта с откачиваемым газом, то присутствие жидкой смазки в подшипнике не критично. Он же является основным элементом для восприятия нагрузок, приходящихся на ротор, обеспечивает его надежную фиксацию. К тому же, стандартные маслосмазываемые подшипники гораздо легче приобрести и заменить – конструкция насоса nEXT730 позволяет конечному пользователю самостоятельно менять этот подшипник, а необходимый комплект ЗИП входит в перечень стандартных артикулов для заказа.
Встроенный контроллер насоса позволяет осуществлять его прямое управление через интерфейс ввода-вывода, либо через интерфейс RS232/485. Это упрощает интеграцию насоса с контроллером ПЛК, позволяет подключаться напрямую к контроллерам Edwards моделей TIC и TAG.
Насос nEXT730 – это новый взгляд на современный турбомолекулярный насос.
Теперь линейка насосов nEXT может найти свое применение не только в малых лабораторных и производственных задачах, но и в таких приложениях как: термическая обработка, электронно-лучевая сварка, травление, ионная имплантация, метализация, вакуумные печи и установки дегазации.
Помимо этих преимуществ, насос обладает всеми плюсами серии nEXT – широкий набор аксессуаров, удобное обслуживание на месте и интеллектуальное управление, достойное лидера в своем классе.
- Скорость откачки до 730 л/с.
- Встроенный контроллер
- Гибридный подвес
Особенности nEXT730:
- лидер по скорости откачки в своем классе,
- превосходные коэффициенты сжатия,
- легкость монтажа и интеграции в управляющую систему Заказчика,
- гарантированная надежность, в среднем 4 года эксплуатации подшипников до первого обслуживания,
- широкий выбор вариантов исполнения насоса для оптимальной работы в любых областях,
- подшипники и масляный картридж насоса nEXT730 могут полностью обслуживаться пользователем,
- интеллектуальные насосы с интегрированным портом micro USB и программным обеспечением Edwards nST, позволяющими осуществлять мониторинг, управление и настройку насосов,
- широкий набор специализированных аксессуаров
Состав (комплектация)
Насосы:
- nEXT730D, входной фланец ISO160К, артикул B8J200300
- nEXT730D, входной фланец CF160, артикул B8J200400
Аксессуары
