Безмасляный вакуум.
Скорость откачки до 300 л/с.
Вакуум до 5×10-10 мбар.
Гибридный подвес
Турбомолекулярный насос nEXT300
Краткое описание
Области применения
Характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Входной фланец | ISO100/CF100 |
| Форвакуумный фланец | KF25 |
| Фланец бустерного порта (версии T) | KF25 |
| Скорость откачки, N2 , л/с | 300 |
| Скорость откачки, Ar, л/с | 280 |
| Скорость откачки, He, л/с | 340 |
| Скорость откачки, H2 , л/с | 280 |
| Коэффициент сжатия, N2 | >10 11 |
| Коэффициент сжатия, Ar | >10 11 |
| Коэффициент сжатия, He | 10 6 /3х10 6 (D/T) |
| Коэффициент сжатия, H2 | 5х10 4 /10 5 (D/T) |
| Предельное давление (CF), мбар | <5х10 -10 |
| Макс. допустимое давление на форвакуумном фланце, мбар | 9,5/20 (D/T) |
| Скорость откачки между ступенями, N2 , л/с | 13 |
| Скорость откачки между ступенями, He, л/с | 13 |
| Скорость откачки между ступенями, H2 , л/с | 11 |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | масляный пластинчато-роторный – RV12, сухой спиральный – nXDS10i |
| Пиковая скорость откачки на бустерном порте (N 2 ) | RV12 - 26 м 3 /ч nXDS10i – 24 м 3 /ч |
| Макс. энергопотребление, Вт | 160 (диапазон 50-200) |
| Рабочее напряжение, В пост. тока | 24-48 |
| Номинальная частота вращения, об/мин | 60 000 |
| Масса насоса, кг | 6/9 (ISO/CF) |
| Допуск по магнитному полю, мТл | 5 |
| Время разгона, с | 145 |
| Положение при установке | вертикальность фланца относительно горизонта +/- 2 ̊ |
| Охлаждение | Естественная конвекция/принуд. воздушное/водяное |
| Макс. температура прогрева фланца (CF), °С | 120 для водяного охлаждения 115 для принуд. воздушного охлаждения |
| Подшипники | Верхний подшипник на постоянных магнитах, нижний подшипник керамический маслосмазываемый |
| Возможность обслуживания подшипников пользователем | да |
| Контроллер | Встроенный/внешнее управление контроллерами TIC и TAG |
| Интерфейсы | RS232/485, I/O (дополнительно - внешний интерфейс Profibus) |
Описание
Высоковакуумный турбомолекулярный насос Erwards nEXT300 – это новейшее решение Edwards, представляющее из себя насос с гибридными подшипниками, комбинированной молекулярной ступенью и встроенным контроллером.
Гибридные подшипники подразумевают следующее:
- Верхний подшипник – магнитно-левитирующий, на постоянных магнитах. Поскольку верхний подшипник располагается в непосредственной близости от входного фланца, то подшипник с жидкой смазкой в этой области загрязнял бы откачиваемый объем испарениями смазки. Верхний магнитный подшипник позволяет сохранить чистоту откачиваемой системы, а также снижает вибрацию.
- Нижний подшипник – маслосмазываемый, керамический. Поскольку в месте установки этого подшипника не происходит контакта с откачиваемым газом, то присутствие жидкой смазки в подшипнике не критично. Он же является основным элементом для восприятия нагрузок, приходящихся на ротор, обеспечивает его надежную фиксацию. К тому же, стандартные маслосмазываемые подшипники гораздо легче приобрести и заменить – конструкция насоса nEXT300 позволяет конечному пользователю самостоятельно менять этот подшипник, а необходимый комплект ЗИП входит в перечень стандартных артикулов для заказа.
Встроенный контроллер насоса позволяет осуществлять его прямое управление через интерфейс ввода-вывода, либо через интерфейс RS232/485. Это упрощает интеграцию насоса с контроллером ПЛК, позволяет подключаться напрямую к контроллерам Edwards моделей TIC и TAG.
Пользователь может выбрать оптимальную модификацию насоса под конкретную задачу.
Обратите внимание на специальные литеры в названии насоса:
- D – стандартное исполнение.
- H – оптимизированная конструкция ротора для работы с легкими газами, увеличенный коэффициент сжатия.
- T – дополнительная регенеративная ступень для улучшенного сжатия легких газов и толерантности к форвакуумному давлению (технология Boost).
- L – версия с пониженной вибрацией.
Насос nEXT300 – это новый взгляд на современный турбомолекулярный насос.
Ротор насоса был переработан так, чтобы улучшить скорости откачки и сжатие газа. При этом сохранен высокий уровень надежности использования и снижены масса-габариты.
Помимо этих преимуществ, насос обладает всеми плюсами серии nEXT – широкий набор аксессуаров, удобное обслуживание на месте и интеллектуальное управление, достойное лидера в своем классе.
- Скорость откачки до 300 л/с.
- Встроенный контроллер
- Гибридный подвес
- Технология Boost
Особенности nEXT300:
- превосходные скорости откачки и степени сжатия,
- широкий выбор вариантов исполнения насоса для оптимальной работы в любых областях,
- Технология Boost – исполнение «T» с уникальной вязкостной ступенью, которая может быть использована для повышения производительности форвакуумного насоса.
- подшипники и масляный картридж насоса nEXT300 могут полностью обслуживаться пользователем,
- интеллектуальные насосы с интегрированным портом micro USB и программным обеспечением Edwards nST, позволяющими осуществлять мониторинг, управление и настройку насосов,
- широкий набор специализированных аксессуаров
Состав (комплектация)
Насосы (версия D):
- nEXT300D, входной фланец ISO100, 80 Вт, артикул B82200101
- nEXT300D, входной фланец ISO100, 160 Вт, артикул B82200100
- nEXT300D, входной фланец CF100, 80 Вт, артикул B82200201
- nEXT300D, входной фланец CF100, 160 Вт, артикул B82200200
Насосы (версия T):
- nEXT300T, входной фланец ISO100, 80 Вт, артикул B82300101
- nEXT300T, входной фланец ISO100, 160 Вт, артикул B82300100
- nEXT300T, входной фланец CF100, 80 Вт, артикул B82300201
- nEXT300T, входной фланец CF100, 160 Вт, артикул B82300200
Аксессуары
