Диапазон давления: 1 атм — 10-9 мбар
Совмещенный датчик Пирани и инверсно-магнетронный датчик
Активный Широкодиапазонный Датчик WRG
Краткое описание
Области применения
Характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Модель | WRG |
| Диапазон Давления | 1 атм - 10 -9 мбар |
| Погрешность Измерения | ± 15% для < 100 мбар ± 30% для < 10 -3 мбар |
| Максимальное Избыточное Давление (Бар) | 6 |
| Напряжение Питания (В DC) | от +14.5 до +36 |
| Максимальная Потребляемая Мощность (Вт) | 2 |
| Сигнал на Выходе (В DC) | от 1.8 до 10.2 |
| Регулировка | Атмосфера и Предустановки |
| Задание Предустановок | Открытый Коллектор Транзистора |
| Задание Предустановок Максимальное Напряжение (В DC) | 40 |
| Задание Предустановок Максимальная Сила Тока (мА) | 100 |
| Диапазон Рабочих Температур (°С) | от +5 до +60 |
| Диапазон Температур Хранения (°С) | от 0 до +70 |
| Материалы Контактирующие с Вакуумом | Нержавеющая Сталь (AISI 304, 316, 321, 347), Фторопласты, Натриево-Известковое Стекло, Вольфрам |
| Внутренний Объем (см 3 ) | 26 |
| Вес (кг) | 0.8 |
| Внешний Интерфейсный Разъем Версии S, SL | 8 контактный FCC68/RJ45 |
| Внешний Интерфейсный Разъем Версия D | 9 контактный D-type plug (pins) |
| Кабель для Соединения Версии S, SL | Стандартный Кабель для Активных Датчиков от Edwards |
| Кабель для Соединения Версия D | Покупатель Предоставляет Самостоятельно (Доступен Адаптер) |
| Соединительный Фланец | NW25 или DN40CF |
| Стандарт Электромагнитной Совместимости | EN 61326 Industrial Location, Class B Emissions |
| Степень Защиты от Воздействий Окружающей Среды Версии S, SL | IP 40 |
| Степень Защиты от Воздействий Окружающей Среды Версия D | IP 44 |
Описание
Широкодиапазонный датчик Edwards WRG — решение позволяющее использовать один датчик для измерения давления от атмосферы до 10-9 мбар. Это компактный прибор совмещающей в себе датчик Пирани и инверсно-магнетронный датчик. WRG позволяет в два раза уменьшить количество необходимых электронных соединений и используемых портов вакуумной камеры, что является удобным решением для ряда применений. В датчик был интегрирован набор инновационных функций таких как улучшенный источник разряда магнетронного модуля, калибровка к атмосфере в одно нажатие клавиши на датчике, встроенный модуль диагностики поломок и встроенный микропроцессор для вывода линейного сигнала. Эти и другие функции делают датчик WRG удобным и надежным прибором для применения в различных процессах. Также, в Edwards был оптимизирован процесс производства, чтобы предоставить пользователю лучшее соотношение цены-качества.
Широкодиапазонный датчик Edwards WRG — незаменим для систем с высокой скоростью откачки от атмосферы до уровня высокого вакуума. Датчик позволяет обеспечить беспрерывный и точный контроль над происходящими процессами. Для удобства измерений WRG может быть интегрирован в вашу систему с одним из контроллеров от Edwards или с использованием контрольно-измерительного оборудования пользователя. Для наиболее требовательных применений были разработаны две дополнительные комплектации с уменьшенным влиянием магнитного поля на процессы пользователя (SL) и с повышенной стойкостью от нежелательных воздействий окружающей среды (D).
- Широкий диапазон давлений: 1 атм — 10-9 мбар
- Встроенный микропроцессор выдающий линейный сигнал на выходе
- Компактный дизайн
- Встроенный модуль диагностики поломок
- Легкий сервис — возможность замены магнетронного и Пирани модулей
- Совместимость с контроллерами от Edwards TIC, TAG и ADC
- Вариант комплектации SL с низким магнитным полем для наиболее чувствительных приложений
- Вариант комплектации D с улучшенными характеристиками корпуса и электрических соединений для большей защиты от воздействий окружающей среды
Особенности:
- Калибровка к атмосферному давлению нажатием клавиши на устройстве
- Компактный дизайн
- Легкий сервис - замена магнетронного и Пирани модулей
- Низкие магнитные поля для наиболее чувствительных приложений, таких как масс спектрометрия (Комплектация SL)
- Улучшенными характеристики корпуса и соединений для большей надежности и защиты от электрических разрядов (Комплектация D)
- Встроенный модуль диагностики поломок
- Совместимость с контроллерами от Edwards TIC, TAG и ADC
- Передовая технология источника разряда магнетронного модуля обеспечивает работу в условиях высокого вакуума или повышенного загрязнения системы
- Автоматическая вакуумная установка модуля Пирани
- Улучшенный срок службы благодаря снижению напряжения высоковольтного источника после разряда и уменьшению силы тока разряда
- Встроенный микропроцессор выдает линейный сигнал на выходе совмещая показания модулей датчика
10. Состав (комплектация)
- Стандартная комплектация WRG-S-NW25 с соединительным фланцем NW25. Информация для заказа датчика: артикул D14701000.
- Стандартная комплектация WRG-S-DN40CF с соединительным фланцем CF40. Информация для заказа датчика: артикул D14703000.
- Комплектация с уменьшенным эффектом магнитного поля на систему пользователя WRG-SL-NW25 и с соединительным фланцем NW25. Информация для заказа датчика: артикул D14711000.
- Комплектация с улучшенными характеристики корпуса и соединений для большей надежности и защиты от воздействий окружающей среды WRG-D-NW25 и с соединительным фланцем NW25. Информация для заказа датчика: артикул D14702000.
Аксессуары
