Сверхвысокий безмасляный вакуум
Производительность до 1200 л/с.
Предельный вакуум до 1 х 10-11 мбар.
Ионный насос TiTan 1200LX
Краткое описание
Характеристики
| Параметр для модели с элементомCV/CVX | Значение |
|---|---|
| Быстрота откачки (л/с, N2) | 1200 |
| Давление запуска (мбар) | ≤1x10 -3 |
| Срок службы при 1×10 -6 мбар (ч) | 50 000 |
| Предельное остаточное давление (мбар) | <1x10 -11 |
| Максимальная температура прогрева (°C) | 250 / 450 (со снятыми магнитами) |
| Фланец | DN 150 (8 in.) CFF |
| Вес (кг) | 206 |
| Габариты, мм | 507 x 517 x 517 |
| Параметр для модели с элементомDI/DIX | Значение |
|---|---|
| Быстрота откачки (л/с, N2) | 640 |
| Давление запуска (мбар) | ≤1x10 -3 |
| Срок службы при 1×10 -6 мбар (ч) | 50 000 |
| Предельное остаточное давление (мбар) | <1x10 -11 |
| Максимальная температура прогрева (°C) | 250 / 450 (со снятыми магнитами) |
| Фланец | DN 150 (8 in.) CFF |
| Вес (кг) | 206 |
| Габариты, мм | 507 x 517 x 517 |
| Параметр для модели с элементомTR | Значение |
|---|---|
| Быстрота откачки (л/с, N2) | 640 |
| Давление запуска (мбар) | ≤5x10 -2 |
| Срок службы при 1×10 -6 мбар (ч) | 80 000 |
| Предельное остаточное давление (мбар) | <1x10 -11 |
| Максимальная температура прогрева (°C) | 250 / 450 (со снятыми магнитами) |
| Фланец | DN 150 (8 in.) CFF |
| Вес (кг) | 206 |
| Габариты, мм | 507 x 517 x 517 |
Описание
Сверхвысоковакуумный ионный (магниторазрядный насос) TiTan 1200LX – это абсолютно безмасляный насос, который способен создавать и поддерживать в вакуумных камерах разрежение до 10-11 мбар, обеспечивая скорость откачки до 1200 л/с (по азоту).
TiTan 1200LX может быть реализован в двух конфигурациях:
- насос c диодным элементом с двумя титановыми пластинами (CV/CVX). Такая модификация отлично подходит для откачки воздуха и химически активных газов.
- насос c диодным элементом с двумя пластинами: титановой и танталовой (DI/DIX). Такая модификация отлично подходит для откачки воздуха, инертных и химически активных газов.
- насос с триодным элементом со щелевыми титановыми пластинами (TR). Отлично подходит для откачки воздуха, химически активных газов и особенно инертных газов. Такая конфигурация обладает на 25% меньшей скоростью откачки химически активных газов, по сравнению с CV элементом, но лучше откачка инертных газов.
Особенность дизайна ионных насосов серии L в их дизайне. Он имеет вертикальное расположение элементов внутри корпуса насоса. Помимо того, что такая ориентация позволила уменьшить высоту насосов, так же создается замкнутый контур магнитного поля в центре устройства, что снижает интенсивность магнитного поля вблизи фланца насоса в 10 раз. Это решение особенно важно для систем чувствительных магнитным помехам.
TiTan 1200LX отлично зарекомендовал себя в полупроводниковой промышленности, в измерительных устройствах, в физике высоких энергий, но так же можно использовать в лабораторных установках.
- Высокая надежность
- Абсолютно сухой вакуум
- Вакуум до 10-11 мбар
- Отсутствие механической вибрации
Особенности TiTan 1200LX:
- Предельное остаточное давление до 1х10-11 мбар.
- Отличная откачка инертных газов (DI/DIX, TR).
- Отличная откачка химически активных газов (CV, CVX).
- Стабильность вакуума.
- Отсутствие механической вибрации и минимизация электрических помех.
- Высокая радиационная стойкость: материалы, из которых изготавливаются насосы, устойчивы к облучению свыше 108 грей.
- Стойкость к высокой температуре: до 250°C с магнитами и до 450°C - без.
- Нет необходимости в регулярном техническом обслуживании.
- Низкие эксплуатационные расходы по сравнению с насосами других типов, которые обеспечивают такой уровень вакуума: для работы насоса, необходимо только подключить его к контроллеру и к электрической сети.
Состав (комплектация)
Информация для заказа насосов TiTan 1200LX:
Форма артикула (пишется в одну строчку без дефисов, подставьте вместо литер символы в пояснении ниже): 1200LX-CV-8S-SC-N-N, где
1200LX – наименование модели.
Элемент:
- CV – Стандартный, две пластины из титана.
- DI – Комбинированный, одна пластина из титана, вторая из тантала.
- TR – Триодный, щелевые титановые пластины.
- CVX - Стандартный, две пластины из титана, оптимизированный для XHV приложений.
- DIX - Комбинированный, одна пластина из титана, вторая из тантала, оптимизированный для XHV приложений.
Фланцы:
- 8S - Один фланец, DN 150 (8 in. CFF).
- 8D - Два фланца, DN 150 (8 in. CFF).
- 10S - Один фланец, DN 200 (10 in. CFF).
- 10D - Два фланца, DN 200 (10 in. CFF) и DN 150 (8 in. CFF).
Разъем питания:
- SC - SAFECONNTM 10kV SHV.
- OP – PerkinElmer.
- VR – StarCell.
- OV - Old varian.
- FI - Fisher
Нагреватели:
- N - Без нагревателя.
- 110 - 110-вольтные, 90-130 номинальное напряжение
- 220 - 220-вольтные, 400-240 номинальное напряжение
TSP/NEG:
- N - Без опции.
- TSPA - TSP с защитным экраном**
- TSPC - TSP с криопанелью**
- NEG - NEG-насос***
* Необходимо выбрать соответствующий высоковольтный кабель и контроллер для работы насоса
** TSP - титано-сублимационный насос интегрируется в магниторазрядный насос для откачки химически активных газов из вакуумной системы в качестве дополнительной ступени откачки, кроме метана и инертных газов. В комбинации с магниторазрядным насосом, насос TSP позволяет достичь более глубокого вакуума за меньшее количество времени.
***NEG - геттерные насосы, которые входят в состав магниторазрядного насоса. Принцип работы основан на хемосорбции и абсорбции. Материал геттера состоит из сплава Zr-V-Fe, обладает высокой скоростью поглощения по водороду.
Аксессуары