Сверхвысокий безмасляный вакуум
Производительность до 100 л/с.
Предельный вакуум до 1 х 10-11 мбар.
Ионный насос TiTan 100L
Краткое описание
Области применения
Характеристики
| Параметр | CV/CVX | DI/DIX | TR |
|---|---|---|---|
| Быстрота откачки (л/с, N2) | 100 | 80 | 80 |
| Давление запуска (мбар) | ≤1x10-3 | ≤1x10-3 | ≤5x10-2 |
| Срок службы при 1×10-6 мбар (ч) | 50000 | 50000 | 80000 |
| Предельное остаточное давление (мбар) | <1x10-11 | <1x10-11 | <1x10-11 |
| Максимальная температура прогрева (°C) | 250 / 450 (со снятыми магнитами) | 250 / 450 (со снятыми магнитами) | 250 / 450 (со снятыми магнитами) |
| Фланец | DN 100 (6 in.) CFR | DN 100 (6 in.) CFR | DN 100 (6 in.) CFR |
| Вес (кг) | 26 | 26 | 26 |
| Габариты, мм | 294 x 328 x 128 | 294 x 328 x 128 | 294 x 328 x 128 |
Описание
Сверхвысоковакуумный ионный (магниторазрядный насос) TiTan 100L – это абсолютно безмасляный насос, который способен создавать и поддерживать в вакуумных камерах разрежение до 10-11 мбар, обеспечивая скорость откачки до 100 л/с (по азоту).
TiTan 100L может быть реализован в двух конфигурациях:
- насос c диодным элементом с двумя титановыми пластинами (CV/CVX). Такая модификация отлично подходит для откачки воздуха и химически активных газов.
- насос c диодным элементом с двумя пластинами: титановой и танталовой (DI/DIX). Такая модификация отлично подходит для откачки воздуха, инертных и химически активных газов.
- насос с триодным элементом со щелевыми титановыми пластинами (TR). Отлично подходит для откачки воздуха, химически активных газов и особенно инертных газов. Такая конфигурация обладает на 25% меньшей скоростью откачки химически активных газов, по сравнению с CV элементом, но лучше откачка инертных газов.
Особенность дизайна ионных насосов серии L в их дизайне. Он имеет вертикальное расположение элементов внутри корпуса насоса. Помимо того, что такая ориентация позволила уменьшить высоту насосов, так же создается замкнутый контур магнитного поля в центре устройства, что снижает интенсивность магнитного поля вблизи фланца насоса в 10 раз. Это решение особенно важно для систем чувствительных магнитным помехам.
TiTan 100L отлично зарекомендовал себя в полупроводниковой промышленности, в измерительных устройствах, в физике высоких энергий, но так же можно использовать в лабораторных установках.
Особенности TiTan 100L:
- Предельное остаточное давление до 1х10-11 мбар.
- Отличная откачка инертных газов (DI/DIX, TR).
- Отличная откачка химически активных газов (CV, CVX).
- Стабильность вакуума.
- Отсутствие механической вибрации и минимизация электрических помех.
- Высокая радиационная стойкость: материалы, из которых изготавливаются насосы, устойчивы к облучению свыше 108 грей.
- Стойкость к высокой температуре: до 250°C с магнитами и до 450°C - без.
- Нет необходимости в регулярном техническом обслуживании.
- Низкие эксплуатационные расходы по сравнению с насосами других типов, которые обеспечивают такой уровень вакуума: для работы насоса, необходимо только подключить его к контроллеру и к электрической сети.
Аксессуары